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              全自動晶圓關鍵尺寸檢測及分選機

              簡要描述:Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺,Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點支撐水平載臺,兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手,滿足亞微米級的形 貌測量需求,可選裝配電阻率測試模塊,滿足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程。

              • 產(chǎn)品型號:Orzew FC20/FC20X
              • 廠商性質(zhì):代理商
              • 產(chǎn)品資料:
              • 更新時間:2024-11-09
              • 訪  問  量: 4756

              詳細介紹

              全自動晶圓關鍵尺寸檢測及分選機功能:

              多種測量能力

              形貌測量

              晶圓分選

              電阻率測量

              關鍵尺寸檢測

              自由選擇適配的測量方式

              Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺

              Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點支撐水平載臺

              兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手,滿足亞微米級的形貌測量需求

              可選裝配電阻率測試模塊,滿足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程


              可實現(xiàn)的測量內(nèi)容.png


              可測量的晶圓類型.png



              厚度分布熱力圖和三維面型

              •具備4,6,8寸晶圓檢測能力(12寸可選)

              •全自動輸出測量結(jié)果

              •自定義電阻率檢測輸出方式



              屏幕截圖 2024-02-19 144536.png




              選配.png








               

               

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