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              自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)

              簡要描述:長達 150 毫米的自動化全場紫外納米壓印解決方案,采用 EVG 專有的 SmartNIL 技術(shù)

              • 產(chǎn)品型號:EVG720
              • 廠商性質(zhì):代理商
              • 產(chǎn)品資料:
              • 更新時間:2024-11-09
              • 訪  問  量: 1099

              詳細介紹

              EVG720 系統(tǒng)利用 EVG 創(chuàng)新的 SmartNIL 技術(shù)和材料專業(yè)知識,實現(xiàn)微米級和納米級結(jié)構(gòu)的大規(guī)模制造。EVG720 系統(tǒng)采用 SmartNIL 技術(shù),能夠在大面積上打印小至 40 nm* 的納米結(jié)構(gòu),具有較大的吞吐量和較低的擁有成本,非常適合下一代微流控和光子器件(如衍射光學元件 (DOE))的批量生產(chǎn)。

              *分辨率取決于工藝和模板


              特點


              · 具有復(fù)制保真度的批量驗證印記技術(shù)

              · 成熟的SmartNIL技術(shù)與多用途聚合物沖壓技術(shù)®

              · 集成壓印,UV固化脫模,和工作印章制作

              · 自動磁帶到磁帶處理加上半自動化的研發(fā)模式

              · 可選的頂部對齊

              · 可選的迷你環(huán)境

              · 開放平臺的所有商業(yè)可用的印記材料

              · 從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴展性

              · 系統(tǒng)外殼,最佳的過程穩(wěn)定性和可靠性

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              技術(shù)數(shù)據(jù)

              晶圓直徑(襯底尺寸):75至150毫米

              分辨率:≤ 40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

              過程支持:SmartNIL®

              曝光源:大功率LED(i-線)> 40mW/cm2

              對齊:可選頂部對中

              自動分離:支持

              迷你環(huán)境和氣候控制:可選

              工作印章制作:支持


              產(chǎn)品咨詢

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